Les contaminants | Spécifications |
Le dioxyde de carbone | <5 ppm |
Tétrafluorure de carbone | <5 ppm |
L'azote | <20 ppm |
L'oxygène et de l'Argon | <5 ppm |
Tétrafluorure de silicium | <5 ppm |
Le monoxyde de carbone | <25 ppm |
Le dioxyde de soufre | <10 ppm |
Le THC que le méthane | <1 ppm |